“제 11회 나노형상화 교육”
2006년 여름부터 시작되었던 나노형상화 교육이 2012년 2월 20일 제 11회가 되었습니다. 이번 제11회 나노형상화 교육은 고려대학교 반도체기술연구소와 고려대학교 공과대학 공동실험실, 그리고 고려대학교 나노소자연구실에서 공동으로 개최하게 되었습니다. 이번 교육은 아래 10가지 장비에 대한 교육입니다. 유저자격을 취득하려는 대학원생/연구원을 기본 자격으로 하며 학부생의 경우에는 지도교수님의 추천을 필요로 합니다.
1. 장비교육 목록: 나노형상화 교육에서 실시되는 장비들은 마이크로/나노수준의 패턴을 형성하는 공정장비, 미세구조를 관찰할 수 있는 측정장비, 미세소자의 전기적 특성을 정량화할 수 있는 장비들입니다.
(1) Photo Lithography (2) E-beam Lithography (3) Reactive Ion Etching (RIE) (4) X-ray Diffraction (XRD) (5) Optic Profiler (6) Scanning Electron Microscope (SEM) (7) Evaporator (E-beam) (8) Fourier transform infrared spectroscopy (FTIR) (9) Atomic Force Microscopy (AFM) (10 Vibrating Sample Magnetometer (VSM)
2. 교육신청과 제반사항
- 교육비: 과목당 2만원 (교재 포함 - 각 공정에 대한 User Manual 및 이론자료) - 교육인원: 교육과목에 따라 조금씩 다를 수 있으며 선착순입니다. 인원 확정 후 각 개인에게 합격유무를 공정 교육일정과 함께 이메일로 알려 드립니다. - 일정 : 2월 20일 (월) ~ 2월 24일 (금) - 장소 : 고려대학교 공학관 지하 1층 - 교육비는 현장납부이며 고려대학교 학생은 학내 공동실험실 연구비 처리방식 으로 하며 고려대학교 외 학생은 연구비 관련 사업자등록증을 가져오시면 계산서를 발행해 드립니다. - 신청: 아래 링크를 클릭해서 신청 http://spreadsheets.google.com/spreadsheet/viewform?formkey=dEdIY1ktU2Nya1YycjMxX2R2SXF5TFE6MQ (* 신청시 선택하신 일정이 사정에 따라 변동이 있을 수 있습니다.) - 신청기간 : 2012. 01. 31 ~ 2012. 02. 14 ※ 일정과 관련하여 특수한 본인 사정이 있으신 분은 반드시 기재 바랍니다. 일정이 모두 특정된 뒤에는 변경 불가합니다. ※ 10명 미만 신청한 과목은 폐강되어 진행되지 않습니다. ※ SEM 교육은 과목 특성상 30명으로 총 수강 인원이 제한됩니다.
실질적이고 필수적인 나노스케일의 재료/소자제작, 분석/평가를 위한 공정기술교육의 기회를 놓치지 마세요. 많은 신청 바랍니다.
- 문의 전화 : 02-3290-4085, 3801 - homepage : 고려대학교 공과대학 공동실험실 http://elc.korea.ac.kr 고려대학교 나노소자 연구실 http://nanodev.korea.ac.kr |
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